GMS的主要目的是通過對所有潛在的危險氣體泄漏點的監(jiān)控,在保證人員安全的前提下,盡可能的保證生產(chǎn)連續(xù)并不受干擾的進行。
GMS是氣體信息系統(tǒng),主要負責收集氣體供應設備氣體供應狀態(tài),如管路壓力、閥門狀態(tài)、報警和故障情況等,當監(jiān)控區(qū)域出現(xiàn)氣體供應設備異常時,該系統(tǒng)能實時提供區(qū)域設備報警提示,讓現(xiàn)場操作人員最快時間發(fā)現(xiàn)問題,同時還可實現(xiàn)定期自動抄表功能。
隨著科學技術及智能技術的發(fā)展,人們對半導體集成電路芯片需求越來越大.集成電路的生產(chǎn)加工由于工藝的需求,需要使用到一定量的特殊氣體,為保證生產(chǎn)線人員的安全及生產(chǎn)過程的穩(wěn)定可靠,半導體廠務運營中心需要對生產(chǎn)工藝中使用到的氣體是否泄漏進行實時監(jiān)控。
解決方案